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CARBOZEN™-LAB

합리적 가격으로 다양한 플라즈마 코팅 테스트가 가능한 Multi Coater

CARBOZEN™-LAB 시리즈는 연구소 및 프로토타입 생산에 최적화된 컴팩트한 사이즈의 코팅 시스템입니다.
합리적인 가격에 DLC, 메탈 코팅, 데코레이션 컬러 코팅 등 다양한 진공증착 테스트가 가능하도록
Customer-oriented 시스템을 구축하여 드립니다.

CARBOZEN™-LAB 시리즈는
연구소 및 프로토타입 생산에
최적화된 컴팩트한 사이즈의 코팅
시스템입니다.
합리적인 가격에 DLC, 메탈 코팅,
데코레이션 컬러 코팅 등 다양한
진공증착 테스트가 가능하도록 Customer-oriented 시스템을
구축하여 드립니다.

시스템 사양
플라즈마 소스 LIS (Linear Ion Source)
UBM Sputter (Unbalanced Magnetron Sputter)
Cathodic Arc
챔버크기 Ø500 × H250 mm, Custom-made
캐소드 사이즈 Ø 300 mm
작동가스 Mass flow control system
Ar · O2 · N2 · etc
프로세스 전자동 / 반자동
CARBOZEN-LAB
주요 특징

  • 고객 예산을 고려한 다양한 옵션 구비

  • 축적해 온 코팅 양산화 기술로 최적화된 솔루션 제공

  • 코팅 공정에 대한 세밀한 설계와 수정이 가능하고 쉽게 사용이 가능한 소프트웨어 장착

CARBOZEN™-LAB 스펙표 

●=Standard / ●=Option
Components Full Option PECVD Sputtering Metal-ARC Specifications
Rotary pump ● ● ● ● 4 ~ 60 m3/h
Turbo pump ● ● ● ● 200 ~ 400 l/s
Throttl Valve ● ● Blade type
Baratron Gauge ● ● 0.1 ~ 1torr
Pressure Controller ● ● Automatic Control
Heater ● ● ● ● 400 ~ 500 ℃
1 Fold Turntable ● ● 3 Axis Rotation
2 Fold Turntable ● ● ● ● 3 Axis Rotation & Revolution
Sputter DC Power Supply ● ● 2 KW DC
Ion Source DC Power Supply ● ● ● 10 KW DC
Cathodic Arc Power Supply ● ● 5 KW DC
Bias Power Supply ● ● ● ● 5 KW 350kHz
Cathode Power Supply ● ● AC or RF
4 Inch Sputter Source ● ● Unbalanced Magnetron Sputter
4 Inch Ion Source ● ● ● ● Closed drift Type
3 Inch Cathodic Arc Source ● ● Direct cooling Type
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